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對通常被稱之為五片式的組合泵，其修理方法與前述一些  故障修理方法大同小異。在些例修理Z165型泵時，實際  已詳述了它的修理過程，這是一種油浸式組合泵，還有一種油封式，修理方法亦相似。  例如：有一臺愛德華E2M275型組合泵，在使用兩年以后，發(fā)現(xiàn)極限真空度下降，需要修理。  先按組合泵拆裝步驟拆下清洗：拆去端蓋，拿出轉(zhuǎn)子和旋  片，用汽油清洗去除雜質(zhì)，涼干后，測量部件的尺寸公差，以  檢査磨損情況。

多室泵與往復(fù)泵結(jié)構(gòu)復(fù)雜，與前述泵不同，故在此重點地描述它們的維修要點
 多室泵的維修  多室泵屬旋片泵的一種，是它的組合機組類型，其安裝使用方法與旋片泵等油封式泵雖類似，亦有差別。

    熱陰電離規(guī)測量下限的擴晨  中，約150V電壓加速的電子碰撞到極上，棚極將產(chǎn)生軟X射線，其波長不短下  100A(1A=10-10m).軟X射線照射到離子收集極時，將導(dǎo)致收集極發(fā)射光電子，  其效果等效于收集極收集到離子流，x實際上是和壓力無關(guān)的虛假的離子流  (以區(qū)別于反映和壓力有關(guān)的真實離子流)。因此在測量電路上測量到的離子流包括  實際離子流1和虛假離子流x兩部分。顯然Ix限制了熱陰極電離規(guī)的測量下限  1x和加速電壓V、電子電流1。以及離子收集極受X射線的照射面積F有如下

 在真空系統(tǒng)裝配中，柔性管路接頭用來適應(yīng)熱膨脹或位置調(diào)整(零件之間需要  有相對移動),或者需要隔離振動以及強度弱的零件免受應(yīng)力損傷等。  超高真空系統(tǒng)的前級低真空，可采用真空橡膠管、塑料管等柔形管路，管路壁  厚要能承受大氣壓力，薄壁管要在管內(nèi)設(shè)加強件(如鋼絲彈簧)。

 在多級油擴散泵中，利用傘形嗩嘴和噴射噴嘴及導(dǎo)流管組成導(dǎo)流系統(tǒng)  傘形噴嘴的特點是噴嘴直徑一般比一級大呈塔形。因為噴嘴與泵壁之間的間隙越大，氣  體擴散的有效面積就越大。所以位于泵入口端的第一級主要從增大泵的抽速來考慮。由于氣  體經(jīng)過一次壓縮后，壓力增大，氣體密度較高，在較小的面積里就能通過。