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  濺射離子泵的放電單元中,從第一個電子到繁流電子密度達(dá)到(約1010個電
子/cm3)穩(wěn)態(tài)值的時間r,稱為啟動時間,它是濺射離子泵的一個重要參數(shù)。啟動  時間的長短取決于啟動壓力,在10-1Pa下,放電單元的啟動時間為幾納秒,壓力  在10-Pa下的啟動時間將長達(dá)5008,覆射離子泵的放電特性見圖241,因此,圓  射離子泵的啟動壓力不能太高,也不能過低,濺射離子泵啟動困難的原因有以下

幾點,
(1)啟動壓力過高  濺射離子泵正常啟動壓力要低于10-1Pa。在1~10-Pa壓力范圍內(nèi),陽極單  元放電主要是輝光放電,這種壓力下受電源電路的限制,電壓很低,啟動電流很  大,啟動受電源電路的限制。隨著壓力的降低,從輝光放電逐漸過渡到潘寧放  電,放電電流隨壓力的降低而下降,電壓逐漸恢復(fù)到額定值(一般為6~8kV)  高于1Pn啟動,必須特別小心,因為高壓力下啟動,離子流強(qiáng),使抽氣單元發(fā)  熱,會引起原先吸附在鈦膜內(nèi)的氣體大量放出,放氣又產(chǎn)生更強(qiáng)的離子流,使抽
氣單元溫度進(jìn)一步升高,這樣的惡性循環(huán),將會迅速形成陰極“擊穿”。即使泵
原先的抽氣量較小,放氣速率不高,也會因高壓下泵的抽速小,造成所謂的“緩
慢啟動”。
過高的啟動壓力,引起泵內(nèi)部件發(fā)熱放氣造成的啟動困難,可用高真空泵作前級泵降低啟動壓力的辦法加以解決。國產(chǎn)濺射離子泵的生產(chǎn)廠家給出的啟動壓力范  圍低于5×10-4~7×10-5Pa。
(2)真空容器體積過大
體積過大引起啟動時間過長,可換用抽速更大的預(yù)抽泵,必要時在預(yù)抽階段加  熱烘烤容器,排除容器內(nèi)大量出氣后再啟動離子泵  (3)泵在潮濕大氣中停放時間過久
潮濕環(huán)境條件,或者泵清洗后首次運轉(zhuǎn),由于泵內(nèi)各部件吸收了大量水分,造  成啟動困難,解決方法可在預(yù)抽氣的同時加熱烘烤。此外,平時應(yīng)該注意泵停止運  轉(zhuǎn)期間盡量不暴露大氣。若因更換工件短期暴露大氣,可用預(yù)抽泵抽成低真空
(4)預(yù)抽機(jī)械泵油污染
前級機(jī)械泵的油蒸氣污染了鈦陰極板也會使啟動困難?？稍诖髿庵屑?nbsp; 熱,400℃烘烤2h,清除油污染物。最好的方法是盡量采用無油前級泵作預(yù)