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 殘余氣體全譜的獲得  在真空技術研究中,通過對超高真空系統(tǒng)內殘余氣體主要成分分析,可以判斷  系統(tǒng)是否漏氣、漏率數值大小、是否存在由于材料選擇不當而造成材料出氣、主要  氣體來源等,以便正確選擇抽氣手段和工藝,提高系統(tǒng)的極限壓力  殘余氣體譜獲得的最簡單方法是將質譜計探頭安裝在真空系統(tǒng)適當位置,當真  空系統(tǒng)的壓力滿足質譜計工作條件要求時,利用模擬掃描模式(或棒掃描模式)在  儀器的工作質量范圍內,選擇適當的參數對系統(tǒng)進行全譜掃描,記錄系統(tǒng)殘余氣體  的全譜圖。質譜計的工作參數可以根據實驗條件和試驗目的來選擇:考慮到超高  真空中常見的殘余氣體質量數小于50u,因此質量范圍可以選擇1~50u。為了檢  測系統(tǒng)中殘余氣體的微量成分,離子收集應選擇電子倍增器模式,倍增器電壓值  應根據試驗情況確定。靜電放大器最好選擇為對數顯示,能夠在幾個數量級范圍  內顯示良好譜峰。儀器的分辨本領應適當選擇,以求得到好的峰形。圖4-25所  示為5×10-8Pa超高真空系統(tǒng)殘余氣體譜,使用的質譜計為QSM422四極質  譜計
 譜峰質量數標定  在質譜圖上確定譜峰峰位的方法有兩種。最簡單的方法是計算機控制的四極質  譜計給出的譜圖,可以在質量數坐標軸直接讀出對應峰的質量數。在圖425譜圖
中,利用n數據處理軟件,穆坐標線對準峰頂后,可自動星示該峰的質量數  飛于段有采用什算機陽制的僅題,但錄僅縱軸為峰高(離子流),軸為走紙  對應的睡的離子面強度  的長度,當記錄僅走紙遞度一定時,可以認為橫軸為時間軸,四級質諧計為線性口  因此可在橫輸上,根據峰間紙的距離計算出對應峰的質量數  n質計實際量中,作者如果懷疑質量標尺提供的質量數不準,可以向直  晚內引人已知成分的標準氣體,利用標準氣體的質量數對標尺進行段準  4.3氣成分判別  超高真空系筐的殘余氣體譜比較簡單,通常由幾個峰組成,且譜峰的位置和強  度有一定的規(guī)律和特征,因此可以根據峰的質量數,直接判定該峰對應的氣體種  類,為了對真空系統(tǒng)的組分作較詳細的分析,可以利用真空系統(tǒng)的離子諧判別數  據進行氣體成分判別.下面幾條規(guī)律可以幫助操作者判別超高真空系統(tǒng)殘余氣
①沒有碳氫化合物(油蒸氣)污染的真空系統(tǒng)殘余氣體成分的質量數一般低  體謂
于44在無油的真空系統(tǒng)中,惰性氣體為主要成分,如質譜峰為2(H2)、40(Ar)和44(CO2)  ②未經烘烤或烘烤不徹底的真空系統(tǒng),水為系統(tǒng)的主要成分,質諧峰的質

數  為18、17和1  ③有漏氣的真空系統(tǒng),可以看到明顯的氧峰,質量數為32  ④存在碳氫化合物(油蒸氣)污染的真空系統(tǒng),會成組出現碳氫化合物  峰,而且有明顯的特征峰,如質量數39、41、43一組峰和55、57一組峰  ⑤在無油的超高系統(tǒng)中,質量數為16的甲烷成分出現的原因是由于碳、氫在質譜計熱燈絲的表面作用下形成的  ⑥真空系統(tǒng)清洗劑殘留物如酒精的基準峰為質量數31,丙酮基礎峰為質量

根據上述的幾條判別規(guī)律可以利用圖425的質譜圖對超高真空系統(tǒng)的殘余氣體進行如下分析。
①質量數M=2u的峰為氫峰,該系統(tǒng)中氫占主要成分。
②質量數M=28u峰,可能為N2或CO,根據N2、CO各自的圖形系數,在M=14u峰位處沒有M=14u峰而在M=12u峰位處有C峰,因此可以判斷為CO成分
③在M=44u峰位上的峰可以判定為CO2成分。
④M=18u、17u峰位出現的峰是典型的H2O的成分
⑤M=32u峰位處的峰可能的氣體為O2、HS或SO2,根據離子譜在M=34u  沒有峰判定,M=32u峰為O2成分
⑥根據質量數16峰較大,系統(tǒng)中可能有CH4、O存在或CO、CO2的碎片  根據M=15u峰位處沒有峰,

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