和县朔杆装饰设计工程有限公司

   爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的,它有如下一些特點(diǎn)  (1)泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑劑,因而無(wú)返油現(xiàn)象發(fā)生  (2)抽氣元件為非接觸式的,可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)(3000r/min)  (3)與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損  (4)在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除  (5)該泵形式多樣,功能可以  包  擴(kuò)展,泵的主體,帶有齒輪、馬達(dá)  以及氣體凈化設(shè)備,附件有入口處  防返流的閥門,出口處有截流閥
電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置  (6)齒輪和泵軸的下軸承用FFE  油潤(rùn)滑、上端蓋內(nèi)的軸承用PPE油
脂潤(rùn)滑  (7)第二、第三、第四級(jí)均有凈  化氣體入口,以改善被抽介質(zhì)順利  通過(guò)泵腔,無(wú)此需要的可以不用通  凈化氣體,凈化氣體用3個(gè)流量計(jì)分  別調(diào)節(jié),相互都是獨(dú)立的,以保證  節(jié)約情性氣體,利用3個(gè)電磁閥可微
調(diào)其流量;  (8)人口防返流閥能將被抽容  器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將  泵的出口封閉起來(lái),將泵通以凈化  氣體,這些閥可自動(dòng)開關(guān),真空系  統(tǒng)有可靠的保護(hù),杜絕了向真空室  圖7-80爪式泵附件圖
的返流,泵的各種附件如圖7-80  1—遙控器;2一供電裝置;3一外罩;4防返流閥  5一出口截流閥;6—泵主體;7一底座  所示  (9)電氣監(jiān)控與操作,主要有  電源,遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等的控制  當(dāng)泵出現(xiàn)故障時(shí)泵能自動(dòng)停止,兩個(gè)閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動(dòng)力和遙控有一臺(tái)變壓  器和整流器,以提供所需的電流電壓,以滿足監(jiān)控過(guò)程的需要。動(dòng)力電源、繼電器用以對(duì)馬達(dá)  的接通與斷開及馬達(dá)超負(fù)荷的保護(hù)。操作過(guò)程有顯示器,有按鈕控制,可控制馬達(dá)、防返流閥  的控制閥和截流閥的控制閥,第二、第三、第四級(jí)的凈化氣體的通斷閥,惰性氣體的主閥,凈  化氣體向軸封處通氣用的閥門等。故障的監(jiān)控報(bào)警或停止,系統(tǒng)安全自動(dòng)控制,也可按鈕操  作。啟動(dòng)時(shí),打開凈化氣體,泵正常運(yùn)行3mn,凈化氣體向各段通入,通凈化氣體對(duì)泵性能有些影響。每當(dāng)遇到緊急情況時(shí)可按停止鍵,凈化氣體繼續(xù)接通,關(guān)閉入口防返流閥,各級(jí)泵  凈化1min,凈化結(jié)束,馬達(dá)再停止,關(guān)閉惰性氣體截止閥。