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渦輪分子泵工作特性主要表現(xiàn)在如下幾個方面  (1)抽速與轉速的關系  抽速與轉速大致有

S

(4-67)  的關系。其中：g是決定于幾何形狀的常數；u為動葉片的轉速。實測結果如圖4-61所示  即抽速隨轉速的增加比直線稍慢。這可由抽速高時進氣管道流導的限制作用來解釋，依式  (4-66),S將隨S1增大而偏離直線。  (2)抽速與進口壓強的關系  分子泵在分子流的壓強范圍內，其抽速幾乎不變。因為分子流時流導C與壓強無關；  又依式(4-65),S1只決定輪葉形狀、轉速及氣體種類，也與壓強無關。故依式(4-66),實  際抽速也就與壓強無關。但當壓強增高到不滿足分子流條件時(約為2×101Pa),由于大  部分分子與輪葉不能直接碰撞，抽速因此迅速下降。如圖4-62中的右邊部分，曲線1、2、3  對應不同的前級泵

(3)壓縮比與轉速及相對分子質量的關系  壓縮比與轉速及相對分子質量的平方根有指數關系

(G

(4-68  K  式中，G為決定于幾何形狀的參數  實測結果與式基本符合。如圖4-63所示
為壓縮比，其中：p表示前級泵口的壓  力，力。表示分子泵入口壓力。同一轉速下，大氣體分子壓縮比大，極限真空高，輕氣體分  子，壓縮比小，極限真空低，即分子泵極限真空中以輕分子為主；換句話說，分子泵抽除像  氫氣、氦氣等輕分子的能力差。分子量大的氣體，壓縮比較高。這是渦輪分子泵可用來獲得  潔凈真空的物理基礎。  (4)壓縮比與前級壓強的關系  通常分子泵選擇機械泵作為前級泵，當前級壓強滿足一定要求時，分子泵工作穩(wěn)定，壓  縮比保持常數。如圖464所示，當前級壓強上升到1Pa時，小質量數的分子壓縮比開始下  降，當前級壓強上升到數十帕時，壓縮比急劇下降，分子泵便不能正常工作。

(5)抽速與氣體種類的關系  抽速與氣體種類有如圖4-65所示的關系，即隨的變化比直線略慢。這是因為在轉速  定時，P大的氣體固然其速率比值大，因而輪葉的何氏系數大，但它們在進氣管道的流導  都因增大而減小。兩者綜合的結果使S與v的關系變化緩慢

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