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   一、工作真空度  正確地了解與確定一個設備所要求的真空度是很重要的,  它直接影響到真空系統(tǒng)的結構選擇和對設備維修的要求。真空  系統(tǒng)一定要能夠滿足作業(yè)所要求的真空度。只要系統(tǒng)具有足夠  的氣密性,內(nèi)部又沒有經(jīng)常放出氣體或蒸氣的氣源,則這一要求  是可以滿足的。當然也并不是真空度愈高愈好。否則會使設備  外形過分臃腫,成本增加。表6-1給出了通常真空作業(yè)所使用的  壓強范圍,可以參照。

、殘余氣體成分  某些真空作業(yè),不但要求一定的真空度,而且還要求特定的  殘余氣體成分,如超高真空范圍作業(yè),常要求無碳氫化合物污  染,即系統(tǒng)要潔凈無油才好。但也不應盡搞“全無油”,要從經(jīng)  濟方面考慮。往往用現(xiàn)有系統(tǒng)加以改造,就可以又快又省地滿  足作業(yè)的要求了。
空  殘余氣體成分  某些真空作業(yè),不但要求一定的真空度,而且還要求特定的  殘余氣體成分,如超高真空范圍作業(yè),常要求無碳氫化合物污  染,即系統(tǒng)要潔凈無油才好。但也不應盡搞“全無油”,要從經(jīng)  濟方面考慮。往往用現(xiàn)有系統(tǒng)加以改造,就可以又快又省地滿  足作業(yè)的要求了。

 
三、工作壓強下的有效抽速  這要根據(jù)氣體負荷確定。系統(tǒng)的結構、材料選擇、清潔處  理和操作維護等都會大大影響氣體負荷。第一章已介紹了一些  決定導管通導能力和對容器有效抽速的核算方法。假定系統(tǒng)通  導能力符合要求,那么要注意作業(yè)工、卡具和材料的預除氣  以及嚴格的清潔處理,要盡可能降低氣體負荷。并據(jù)此決定前  級泵大小,仔細核算通導能力。若氣體負荷過大,則要考慮是  否加增壓泵。有效抽速與泵抽速之比要根據(jù)泵的結構綜合考慮,  一般機械泵在95%擴散泵在30~70%。  四、氣體負荷成分及負荷變化
負荷成分不同,系統(tǒng)結構選擇和泵的選擇肯定不同。粗低  真空范圍內(nèi),若含有腐蝕性的氣體,有顆粒、泥沙、塵埃的氣  體就不宜用機械泵和羅茨泵,應該用水環(huán)泵和噴射泵。用分子  泵抽氣考慮到氧氣存在,應當并聯(lián)鈦升華泵,這樣才能使真空  度提高,并達到超高真空范圍。
五、日循環(huán)數(shù)
每日進行裝料  抽氣—一作業(yè)  放氣一一卸料的循環(huán)  次數(shù),叫日循環(huán)數(shù)。這也是設計、改造系統(tǒng)結構,選擇、核算  抽速所必須考慮的因素。必要時,泵用多室的結構為好。例如  圓排車上就常用十室泵作前級泵。0、)一空離
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