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   擴散泵的抽速受很多因素影響,除蒸氣射流狀態(tài)之外,還與泵口壓力、被抽氣體種類、  泵油種類、油鍋內(nèi)蒸氣壓力、溫度、前級泵的抽氣特性、泵內(nèi)第一級噴嘴的結(jié)構(gòu)幾何尺寸  有關(guān)
①抽氣特性曲線油擴散泵的抽速與入口壓力之間的關(guān)系曲線,一般稱之為泵的抽氣  特性曲線。如圖4-101所示。從圖中可以看到,泵的抽速在人口壓力很寬的范圍內(nèi)保持不變  (見圖中b段)。此時泵的抽速與入口壓力無關(guān)。但是在較低或較高的入口壓力下,泵的抽速  出現(xiàn)下降的趨勢(見圖中a段與c段)

 
當泵剛開始抽氣時,入口壓力較高,抽氣量也很大。大量的氣體分子進入到蒸氣射流中  與氣流分子碰撞,使蒸氣射流的定向運動速度衰減,結(jié)果使蒸氣流中的激波向噴嘴方向移  動,致使藍氣射流同泵壁脫離。這時,氣體會從前級側(cè)返流,使泵的抽速較低,接近于前組  當泵的入口壓力在正常工作壓力范圍內(nèi)時,泵從被抽容器中抽除的氣體量較大,這時由于  泵的抽速。  反擴散,泵壁放氣以及從油凝結(jié)物中釋放的氣體等反流的氣體量與泵的抽氣量相比可以忽略不  計,因而這時泵的抽速與入口壓力無關(guān),致使泵的抽速在入口壓力很寬范圍內(nèi)保持不變  當泵在低入口壓力范圍內(nèi),隨著壓力的降低氣體從前級通過蒸氣射流的反擴散增加使抽  速下降。除此之外,在低人口壓力下,由鍋爐出來的蒸氣流釋放氣體和泵壁放氣也開始影響  泵的抽速。當蒸氣凝結(jié)物回流時,被壓縮的氣體溶解于凝結(jié)物中一起回到鍋爐內(nèi),并隨著重  新發(fā)的蒸氣流回到高真空噴嘴噴出釋放。這部分氣體在很大程度上影響了泵的極限壓力,  并降低了泵的抽速。當反擴散回來的氣體和蒸氣流釋放的氣體及泵壁放出的氣體總和等于被  抽走的氣體時,抽速接近于零。  ②擴散泵對不同種類氣體的抽速同一臺擴散泵對不同種類氣體的抽速是不同的。這  是由于這些氣體要被抽除時,首先必須先通過氣體分子擴散運動到達擴散泵的抽氣口,不同  氣體分子的平均速度不同,造成了泵的抽速差異,這種差異有時是很大的。圖4-102給出了  擴散泵對幾種氣體的抽速曲線。從抽速曲線可以看出,對氮的抽速可平行延伸到很高的真空  度,對氫的抽速很大,這說明擴散泵對較輕的氣體抽速較大,而對油的裂解物抽速卻較小  因此要設法減小油的裂解物產(chǎn)生。通常擴散泵廠家產(chǎn)品說明書上所給出的抽速是指對空氣或  N2的抽速。當真空裝置選擇經(jīng)擴散泵為主泵時,需考慮被抽氣體的種類。  ③擴散泵的最大出口壓力擴散泵的最大出口壓力即為泵的臨界前級壓力。也就是擴  散泵所許可的最高前級壓力值,超過了此值就破壞正常工作。為此,在擴散泵的行業(yè)標準中  都規(guī)定了泵的臨界前級壓力值,一般為30~40Pa。  擴散泵的最大出口壓力主要是由最后一級噴嘴工作狀態(tài)決定的。它取決于蒸氣射流的密

 
度、噴嘴的蒸氣量和最后一級噴嘴的結(jié)構(gòu)。圖4103為  噴射式噴嘴結(jié)構(gòu)示意圖。從圖中可知,它的形狀是先漸  縮后漸擴,中間有個截面積最小的喉部。這種噴嘴通常  和一個擴壓器相配合,來保證泵承受較高的出口壓力  根據(jù)流體力學的原理,工作蒸氣經(jīng)過噴射噴嘴  后,在其出口處可以獲得很高的速度(可達到超音圖4-103噴射式噴嘴結(jié)構(gòu)示意圖  速),再根據(jù)能量守恒定律,流速快的地方則壓力較1-油蒸氣;2—喉部;3氣體;4-擴壓器  低,因而在出口處形成一個低壓區(qū)。于是被抽氣體由于壓力較高將流向此處,并與蒸氣射流  相混合,被帶往泵的出口方向。緊接著噴射噴嘴的是一個擴壓器,在擴壓器里流動過程剛好  與噴射噴嘴相反,即在擴壓器里,將混合后的氣體的流速降低,壓力提高,以便承受較高的  反壓力。采用噴射噴嘴和擴壓器后,不僅可以提高泵的最大許可出口壓力,也可以提高泵在  中等壓力的抽速,故擴散泵常以噴射噴嘴作為最后一級

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